SF6氣體回收裝置具有回收、充放、凈化、抽真空、貯存、灌瓶等綜合性功能，系統比較完全，參見SF6氣體回收裝置系統圖。各功能的串聯或切換主要通過操作集中于面板一側的電控箱和球閥來完成。

SF6氣體回收裝置的基本工作原理是采用冷凍液化法。在回收時，利用壓縮機的抽吸性和壓縮性把SF6電器設備內一定壓力的SF6氣體吸入壓縮機，并壓縮至某一較高的壓力。同時利用R22制冷劑的低蒸發溫度特性， 將較高溫度的SFo氣體冷卻至冷凝溫度進行液化、貯存。這樣連續抽吸至SF。壓縮機串聯運行，直至達到回收終壓力。

在充放時，首先利用SF6氣體回收裝置的真空泵對SF6電器設備(或鋼瓶)和連接管路進行抽真空，然后直接利用壓差或利用壓縮機的抽吸性并造成一定的壓差將裝置貯存容器內的SF6，充入SF6電器設備，直至達到所需的工作壓力。在需灌瓶時則同時利用如前所述的R22制冷劑的特性，將液化的SF6直接灌入鋼瓶。

SF6氣體回收裝置凈化功能是在完成上述回收、充放功能時同步完成的。

系統中設置了三只油分離器，分別安裝在真空泵出口一只及壓縮機的出口二只，以有效去除SF6氣體所帶的油份。

系統回路中設置了干燥過濾器，以保證進入貯存容器的SF6的純度并有效去除水份。過濾器帶有加熱再生裝置，可在抽真空下加熱再生，分子篩從而能反復使用。