SF6氣體回收裝置的凈化、干燥指裝置在不降低原氣體的純度情況下，對SF6氣體中所含有的固體雜質、油份、水份加以去除，從而保證進入電器設備的SF6氣體的純度。一般的凈化干燥隨回收貯存和充放過程同步完成，自循環凈化方法如下：

  SF6氣體回收裝置貯液罐內SF6自循環時，開冷凍壓縮機、V5、V2、SF6壓縮機、V3。若SF6壓縮機排氣壓力太高可調節V2閥門開啟大小，以便氣體正常循環。

  SF6氣體回收裝置自循環結束時，關V5、V2、SF6壓縮機、V6、冷凍壓縮機等。